�PNG  IHDR �� pHYs���+baSEݓ��IDATx�c`@5 �� ؁߀b2�b N��X�,��  C�~���%���o ě�m�' fB�3AŨj 6�_XԀ�ch��biJ|‚�'��"��$%qbo!�� �o�Zb MQ�@, Mi^���9a�����- ~�yx��!� TȎ{ �: 40��� 4��he h@㑦���Z[J_ȍ��D� �@\ � ) |�-��m U���B���EL���ci�+P�x�֖�A�0�> �K�xE� >��F�(CRR+faW�tEXtMathMLB510���IEND�B`�