�PNG  IHDR �i; pHYs���+baSEݓ��0IDATx�c`@5 �� ��?��@��@!X �iPCq& ��s T��P�^���AzX& �3%��@��נ�{ ���X�T�@ h �Bl����4na�K��XҴ ��p���@,H�`Y��G�Lh*%�tL�<bi:�_ tt� ��e�e(o���2����Ƀ$sh1�G� �Z �lP1q(�0)iAKz� �x �:�/bkR,[Ķ��@ ͼ��5������в� �N��e��Jr����&`6Z���Nh����,@<Zo� DC묗�N �`��!��G����tEXtMathMLC612Ƀ��IEND�B`�