�PNG  IHDR%�� pHYs���+baSEP���IDATx�c`@��0 p� ��&�pI�q�W�X�X@����H⿀x.�pB��q3E���P���H� �������@| �?������ ��'�X I\�o�K �d�d�'hr�!';w1��Sr�3 ���y��3 �q���Z����Հx 4���������3�Ry4;oF�;e?���tEXtMathML5626�w�IEND�B`�