�PNG  IHDR"[_)� pHYs���+baSE���l�IDATx�c`���,��@��[H�@|���@|���x?T�(�ķ�X �� C���Pz�8�F7�3!�b�E��-�c0�P<����80�0>�@��*D�I�´��t< F�(��x/��O@<�})�A�� ����>�ET�AЊ�_ԪA�����.���_byj� 0` �P��U��@?b,rd� Y@��5pȓ]���Fk�Q0���O��Q��tEXtMathML4020��d�IEND�B`�